免费亚洲视频-免费小视频在线观看-免费无遮挡又黄又爽网站-免费无码又爽又黄又刺激网站-97精品在线播放-97精品在线

歡迎訪問中山市酷美電子有限公司!
熱線電話:銷售/技術支持 王經理/13802691684
您所在的位置: 首頁  > 案例展示  > 應用于ICP刻蝕系統
應用于ICP刻蝕系統

應用于ICP刻蝕系統

詳細介紹

ICP刻蝕原理及應用

原理:等離子體對材料的刻蝕分為物理刻蝕和化學劑刻蝕,物理刻蝕是通過加速離子對基片表面的撞擊來將基片表面的原子濺射出來。為離子能量的損耗為代價達到刻蝕的目的。化學反應刻蝕是反應等離子體在放電過程中產生離子和許多化學活性中性物質即自由基。這些中性物質是活躍的刻蝕劑,它與基片發生化學反應。

工作原理:

ICP系統中有2個獨立的RF電源,RF1與RF2.一個接到反應室外的電感線圈,一個接到反應室內的電極。給反應室外的線圈加功率時,反應室內產生交變的電磁場,當電場達到一定程度時,氣體產生放電現象,進入等離子狀態。交變的電磁場,使等離子體中的電子路徑改變增加等離子體的密度。反應室內的電極放電后提供一個偏置電壓給等離子體提供能量,使等離子體垂直作用于基片。并與基片發生成可揮發的氣態物質,以達到刻蝕的目的。

等離子刻蝕主要應用在半導體晶圓制作的微電路與圖案的刻蝕。

K-mate 系列射頻電源及自動匹配器為國內多家知名企業與高校如中科院,沈陽科儀等單位保持長期射頻電源及自動匹配器供應。在ICP,RIE等刻蝕設備上針對上電極線圈負載與下電極容性負載。配上對應的不同阻抗網絡的射頻自動匹配器。能夠迅速調整匹配起輝放電。且能長時間穩定運行。

主站蜘蛛池模板: 69式国产真人免费视频| 国产亚洲精品久久久久久国模美 | 午夜福利92看看电影80| 91羞羞视频| 黑人操日本女人| 熟女人妻AV五十路六十路| 97久久无码精品AV| 久久re这里视频只有精品首页| 色婷婷AV99XX| bl高h肉文| 快播成电影人网址| 亚洲免费在线视频| 国产精品久久久久久久久久久| 欧美高清69vivo| 中文字幕网站在线观看| 狠狠插影院| 午夜理伦片免费| 成人免费毛片观看| 欧美gay69| 4hu四虎免费影院www| 九九热伊人| 亚洲成a人不卡在线观看| 国产精品XXXXX免费A片| 日本黄色网站在线观看| asian4you裸模| 免费观看久久| 久久机热免费视频| 亚洲欧美日韩国产另类电影| 国产精品亚洲第一区二区三区 | 欧美成人momandson| 中文国产成人精品久久免费| 精品无码一区二区三区中文字幕| 新香蕉少妇视频网站| 国产精品久久久久久久久LI无码 | 99久久99久久精品免费看子| 久久青青热| 伊人色综合久久天天网| 九九在线精品视频| 一区二一二| 久久久视频2019午夜福利| 在教室伦流澡到高潮HNP视频|